還要看薄膜的厚度范圍.1微米，一般用顯微硬度計，誤差±（1%H+1） um，如果需要絕對值：薄膜硬度比較難測：不是在線測量可以選擇PD-CT2涂層測厚儀，不過屬于破壞式。硬度，條件不符合就必須用非接觸式的激光或者紅外去測量，非破壞可以選擇X射線測厚儀：用顯微鏡比較方便。晶體結(jié)構(gòu)，分辨率0，造價比較貴，需要加做工裝，PD-CT2磁阻法原理是接觸式的，如果是在線測量，在國內(nèi)精度非常高了厚度測量